Détection de liquides de processus

Lorsque la paroi de réservoir ne permet pas de détection de l'extérieur, nos capteurs capacitifs logés dans un boîtier PTFE constituent le bon choix. Ceux-ci détectent le niveau de remplissage de fluides hautement conducteurs – tels qu'acides et lessives alcalines – directement dans le liquide de processus. Cela permet, par exemple, de commencer comme prévu la gravure ou l'application d'une épargne, le développement après lithographie ou le polissage chimico-mécanique et le nettoyage de la plaquette.

Les particularités