Industrie des semi-conducteurs

Communication mobile – Internet of Things – Smart Factory – Smart Home. La numérisation est à l'origine de ces développements actuels. Au cœur de ces développements se trouve le semi-conducteur. L'industrie des semi-conducteurs est donc sans aucun doute tournée vers l'avenir.

En même temps, avec l'évolution du numérique, les exigences qui sont imposées à cette industrie augmentent. Ainsi, par exemple, les puces doivent être de plus en plus performantes. Dans la production de puces, un processus extrêmement complexe et exigeant sur le plan technologique doit être géré de manière rentable.

Balluff vous offre une assistance compétente pour le traitement des plaquettes destinées à l'industrie des puces et de l'énergie solaire, ainsi qu'à la production d'écrans. Avec des solutions miniaturisées fiables pour des applications en salle blanche – comme la manipulation de plaquettes ou dans des environnements chimiques agressifs. Grâce à notre savoir-faire technique complet et solide, nous pouvons également résoudre individuellement vos tâches d'application spécifiques.

Manipulation des plaquettes: Précision maximale également entre les étapes de processus

Balluff offre une grande précision pour la manipulation des plaquettes dans le module EFEM, par exemple sur l'effecteur final ou le dispositif de préalignement. En effet, les plaquettes ne peuvent être correctement positionnées et acheminées de manière fiable à chaque étape de traitement qu'avec la plus grande précision.

Nos capteurs et systèmes sont disponibles dans un petit format, ce qui permet de les intégrer facilement dans la machine. Pour des conditions particulièrement difficiles – après tout, chaque effecteur final est différent – nous pouvons également adapter notre technologie individuellement à vos besoins.

Les principes de mesure sans contact empêchent l'usure, de sorte que la classe de salle blanche reste garantie pendant toute la durée du processus. Utilisez la surveillance fiable de la manipulation des plaquettes et sécurisez votre processus.

Traitement des plaquettes: Intervention fiable dans l'environnement chimique

Afin de répondre aux exigences particulières de la production de semi-conducteurs, Balluff vous propose des solutions optimales pour les processus de la chimie humide. Des boîtiers spéciaux en PTFE permettent un contrôle de niveau fiable – comme pour la gravure, le nettoyage de plaquettes ou le revêtement et le développement en lithographie. C'est à nos capteurs de température de s'assurer que la température du processus est correcte. Avec les capteurs à contact, vous pouvez surveiller de manière fiable les températures pendant le traitement des plaquettes.

Grâce à nos capteurs, vous pouvez également contrôler la course de la vanne, ce qui vous permet de créer des couches homogènes et idéales lors de la déposition.

Manipulation des porte-plaquettes: Positionnement précis, sans contact

Les systèmes Balluff facilitent la manipulation précise et efficace des porte-plaquettes – qu'il s'agisse d'un FOUP ou d'un SMIF-Pod. Avec nos systèmes, vous surveillez les mouvements de l'AMHS lors du transport entièrement automatique des porte-plaquettes. Cette surveillance est extrêmement fiable, aussi bien sur des sections courtes avec RGV que sur des sections longues avec OHV.

En même temps, les systèmes sans contact assurent un positionnement précis. Vos plaquettes peuvent ainsi être acheminées de façon fiable à chaque étape de traitement. Frottement et détachement ne posent ici aucun problème.

En outre, les systèmes Balluff garantissent un suivi de bout en bout. Ceux-ci assurent la documentation en temps réel de la position des porte-plaquettes.

Application de vide: Pour assurer la sécurité du processus

Les capteurs Balluff vous offrent la possibilité de les utiliser directement dans le vide grâce à leurs caractéristiques de construction exceptionnelles. Par exemple, lorsque la plaquette est centrée dans le sas à vide pendant l'alignement à la volée, ou lorsque sa présence doit être contrôlée.

Nous proposons des versions à visser avec fonction d'étanchéité ainsi que des capteurs pour montage direct dans le vide poussé. Leurs signaux sont acheminés en toute sécurité au moyen de câbles électriques via des traversées de câbles. Autre point particulièrement intéressant : Comme nous utilisons des matériaux à dégazage optimisé pour le capteur, votre processus est toujours sécurisé. En outre, nous fabriquons également les capteurs dans les matériaux spécifiés par vous, à votre demande.