Détection de la présence de plaquettes

Pour un processus sûr, contrôlez la présence d'une plaquette ou d'un porte-plaquette avec nos détecteurs optiques à dégazage optimisé. Les capteurs à lumière infrarouge avec amplificateur externe sont adaptés à une utilisation dans le vide. Leur forme ultraplate avec seulement 1,7 mm et une petite surface d'appui les rendent parfaits pour l'espace restreint dans la chambre à vide.

Les particularités