Centratura dei wafer con soluzioni personalizzate

Nella produzione di semiconduttori, il centraggio preciso e affidabile dei wafer è fondamentale in ogni fase del processo. I wafer devono essere posizionati nelle camere di processo con estrema precisione e con un orientamento specifico. Poiché i robot di movimentazione non "afferrano" il wafer, ma si limitano a sollevarlo, la posizione esatta deve essere determinata per la lavorazione. Ciò è necessario per garantire una lavorazione uniforme del wafer ed evitare errori come la rimozione non uniforme o la deformazione.

Con l'ausilio delle nostre soluzioni personalizzate, i wafer possono essere collocati esattamente nella posizione desiderata. L'allineamento al volo del wafer, ad esempio, può essere effettuato in modo estremamente affidabile con due sensori fotoelettrici Micromote. I loro segnali ad alta precisione consentono di calcolare l'offset rispetto alla linea ideale se le due barriere luminose non vengono commutate contemporaneamente. Grazie alla nostra tecnologia microspot, è possibile correggere il wafer durante il movimento poiché riconosce con precisione gli spigoli vivi del wafer.

Per rilevare il posizionamento nel modo più preciso possibile, i nostri amplificatori per teste di sensori ottici supportano i sensori nel centraggio dei wafer con una frequenza di commutazione particolarmente elevata.

Prodotti per il centraggio dei wafer

Lasciateci ottenere il meglio dai vostri sistemi