Disporre il wafer in pre-allineamento
Avvicinate i vostri wafer alla camera di processo, perfettamente allineati, posizionandoli esattamente nella fase di pre-allineamento. Per i pre-allineatori ottici vi offriamo una soluzione incredibile: una banda luminosa ad alta risoluzione con una straordinaria omogeneità. Così potete rilevare anche notch e flat e centrare perfettamente il wafer. Inoltre è possibile integrare la nostra banda luminosa sul pre-allineatore.
Caratteristiche speciali
- laser a luce rossa molto preciso: alta risoluzione ed elevata omogeneità
- risoluzione delle singole esigenze grazie alle diverse lunghezze della banda luminosa
- utilizzo intuitivo
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