Capturar os fluidos do processo em contacto com o meio

A fabricação de semicondutores envolve muitos processos úmidos, como a limpeza com água ultrapura, que é realizada várias vezes ao longo do ciclo de produção. Outros processos, como a gravação, exigem produtos químicos agressivos. Independentemente do processo, os líquidos necessários devem ser armazenados em tanques e seus níveis devem ser monitorados.

Entretanto, a medição do nível de produtos químicos corrosivos pode representar um desafio especial para os sensores. Especialmente se a parede do tanque não permitir a detecção pelo lado de fora. Nesse caso, nossos sensores capacitivos com invólucro revestido de PTFE são a escolha certa. Eles podem detectar o detectar o nível de meios altamente condutores - como ácidos e álcalis - diretamente no líquido do processo. Isso significa que a gravação, a aplicação de uma resistência, o desenvolvimento após a litografia ou o polimento químico-mecânico e a limpeza do wafer podem começar como planejado.

Os materiais da carcaça de nossos sensores de nível são feitos de aço inoxidável ou plásticos quimicamente resistentes, como PTFE ou PEEK, que sãoinertes e muito resistentes ao calor resistentes ao calor. Até mesmo o monitoramento de nível de meios muito agressivos pode ser resolvido em contato com o meio, pois nossas carcaças especiais de sensores podem suportar os ácidos agressivos.

Nossos sensores com contato com o meio são, portanto, ideais para automação na indústria de semicondutores.

Produtos para monitoramento de nível molhado na indústria de semicondutores

Deixe-nos tirar o melhor proveito de seus sistemas