Centragem de bolachas com soluções personalizadas
Manuseamento de bolachas no vácuo
Na produção de semicondutores, a centralização precisa e confiável dos wafers é crucial em todas as etapas do processo. Os wafers devem ser posicionados nas câmaras de processo com extrema precisão e em uma orientação específica. Como os efetores finais dos robôs de manuseio não "agarram" de fato o wafer, mas apenas o levantam, a posição exata deve ser determinada para o processamento. Isso é necessário para garantir o processamento uniforme do wafer e evitar erros, como remoção desigual ou deformação.
Com a ajuda de nossas soluções personalizadas, os wafers podem serOs wafers podem ser colocados exatamente na posição pretendida. O alinhamento do wafer em tempo real, por exemplo, pode ser feito de forma extremamente confiável com dois sensores fotoelétricos Micromote. Seus sinais de alta precisão tornam possível calcular o deslocamento para a linha ideal se as duas barreiras de luz não forem trocadas simultaneamente. Graças à nossa tecnologia de microspot, você podecorrigir o wafer durante o movimentopois ela reconhece com precisão as bordas afiadas do wafer.
Para detectar o posicionamento com a maior precisão possível, nossos amplificadores para cabeçotes de sensores ópticos dão suporte aos sensores na centralização dos wafers com uma frequência de comutação particularmente alta.
O padrão não atende exatamente às suas necessidades? Além de nosso amplo portfólio padrão, também oferecemos soluções personalizadas. Entre em contato conosco para discutir suas necessidades.
Benjamin Renz, gerente do segmento de mercado global, semicondutores e eletrônicos
Os recursos especiais
- Ponto de LED extremamente focalizado com excelente homogeneidade
- Projetos menores e com economia de espaço
- Soluções personalizadas
Produtos para centralização de wafers
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