Pré-alinhamento de wafer
Traga seus wafers para a câmara de processo perfeitamente alinhados, posicionando-os exatamente no pré-alinhador. Oferecemos uma solução excelente para pré-alinhadores ópticos: uma matriz de luz de alta resolução com extraordinária homogeneidade. Além disso, permite detectar entalhes ou planos para centralizar com precisão o wafer. Nossa matriz de luz também é ideal para integração em seu pré-alinhador.
As características
- Laser de luz vermelha muito preciso: alta resolução e extremamente homogêneo
- Diferentes comprimentos de luz para necessidades individuais
- Operação intuitiva
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