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Contrôle de la présence de plaquettes

Contrôle de la présence de plaquettes

Nos capteurs optoélectroniques avec électronique déportée détectent, grâce à des optiques spéciales avec un petit point lumineux, la présence d'une plaquette ou d'un porte-plaquette à travers un canal optique. Les détecteurs optiques, conçus pour le vide et logés dans un boîtier en acier inoxydable, peuvent être vissés aisément dans votre chambre de processus. Ainsi, la chambre est étanche et plus aucune traversée de câble n'est nécessaire.

Les particularités

  • Micro-optiques avec petit point lumineux
  • Boîtier en acier inoxydable robuste avec fonction d'étanchéité
  • Pour les applications de vide jusqu'à 1 × 10–9 mbar

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  • Industry brochure semiconductor industry

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