檢查末端執行器上晶片的存在
或者，您可以使用我們帶有 PTFE 塗層的電容式傳感器檢查晶片是否在末端執行器上。即使它們下垂，它們也能極其可靠地檢測超薄晶圓。其安裝高度僅為 2.5 mm，因此可以輕鬆集成到末端執行器中。由於它們的外部放大器，可以輕鬆地遠程調整它們。
特殊性
- 極其平坦 - 僅 2.5 毫米
- 由於採用 PTFE 外殼，也適用於不同的表面
- 在最小的安裝空間內實現高精度
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