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在預對準中對準晶片
通過將晶圓準確定位在預對齊位置，將它們完美對齊地送入處理室。我們為光學預對準器提供了出色的解決方案：具有出色均勻性的高分辨率光帶。您還可以使用它來捕捉凹口或平面，以便精確地將晶圓居中。此外，您可以理想地將我們的燈帶集成到您的預對準器中。
特殊性
- 非常精確的紅光激光：高分辨率和異常均勻
- 使用不同的光長解決個性化需求
- 使用直觀
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