Centrování destiček s řešeními na míru
Manipulace s destičkami ve vakuu
Při výrobě polovodičů je přesné a spolehlivé centrování destiček klíčové v každém kroku procesu. Destičky musí být v procesních komorách umístěny s mimořádnou přesností a ve specifické orientaci. Vzhledem k tomu, že koncové efektory manipulačních robotů destičku ve skutečnosti "neuchopí", ale pouze ji zvednou, je třeba určit přesnou polohu pro zpracování. To je nezbytné k zajištění rovnoměrného zpracování destičky a k zamezení chyb, jako je nerovnoměrné odebírání nebo deformace.
S pomocí našich řešení na míru lze destičky plátky umístit přesně do zamýšlené polohy. Například vyrovnání plátku za chodu lze provést velmi spolehlivě pomocí dvou fotoelektrických senzorů Micromote. Jejich vysoce přesné signály umožňují vypočítat posun vůči ideální linii, pokud nejsou obě světelné závory zapnuty současně. Díky naší technologii mikrobodů můžete např korigovat destičku během pohybu protože přesně rozpoznává ostré hrany destičky.
Aby bylo možné polohování detekovat co nejpřesněji, podporují naše zesilovače pro optické senzorové hlavy senzory při centrování destiček obzvláště vysokou spínací frekvencí.
Standard zcela neodpovídá vašim požadavkům? Kromě našeho rozsáhlého standardního portfolia nabízíme také řešení na míru. Kontaktujte nás a prodiskutujte s námi své požadavky.
Benjamin Renz, manažer globálního tržního segmentu, polovodiče a elektronika
Speciální funkce
- Extrémně zaostřený LED spot s vynikající homogenitou
- Nejmenší, prostorově úsporné provedení
- Řešení na míru
Výrobky pro centrování destiček
Nechte nás vytěžit z vašich systémů to nejlepší
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions