Kontrola přítomnosti waferů

Naše fotoelektrické snímače s oddělenou elektronikou používají speciální optiku s malým světelným bodem pro detekci přítomnosti waferu nebo nosiče přes pozorovací kanálek. Světelné snímače v pouzdru z ušlechtilé oceli navržené pro vakuum se jednoduše zašroubují do procesní komory. Tím se komora utěsní a kabelová průchodka již není potřeba.

Zvláštnosti