Vyrovnání waferů v pre-alignmentu

Přivádějte wafery do procesní komory dokonale vyrovnané prostřednictvím pre-alignmentu. U nás získáte vynikající řešení pro optické pre-alignery: světelný pás s vysokým rozlišením vyznačující se neobvykle vysokou homogenitou. Pomocí něj můžete snímat i Notch nebo Flat, abyste wafer přesně vystředili. Navíc můžete náš světelný pás ideálně integrovat se svým pre-alignerem.

Zvláštnosti