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Automatisation dans l'industrie des semi-conducteurs

Précision pour la fabrication de semi-conducteurs, de panneaux solaires et d'écrans

Solutions pour l'industrie des semi-conducteurs

Communication mobile, Internet des objets, usine intelligente, maison intelligente - tous ces développements sont poussés par la numérisation croissante. Au cœur de toutes ces technologies se trouvent les semi-conducteurs qui, en tant que composants principaux des puces électroniques, sont indispensables dans l'industrie sont devenus indispensables. Les exigences posées aux semi-conducteurs augmentent parallèlement à l'évolution numérique. Les puces doivent par exemple être de plus en plus performantes. En même temps, lors de la fabrication des semi-conducteurs, un processus très complexe et extrêmement exigeant sur le plan technologique doit être maîtrisé de manière économique.

Balluff vous offre un soutien compétent pour le traitement des wafers de l'industrie des puces et de l'énergie solaire, ainsi que pour la production d'écrans.

Solutions d'automatisation de Balluff pour l'industrie des semi-conducteurs

Les exigences individuelles et exigeantes requièrent souvent des solutions sur mesure. Notre gamme de produits offre aussi bien des solutions standard que des solutions individuelles issues du Customer Design & Engineering (CDE).
Une précision de processus exceptionnellement élevée est garantie par nos capteurs optoélectroniques innovants et de haute précision dotés de la technologie MicroSPOT. L'intégration sans effort des têtes de capteur et de l'unité d'évaluation externe dans vos machines ne pose aucun problème.
En outre, les caractéristiques de construction particulières de certains capteurs permettent de les utiliser directement dans le vide.
Pour les applications d'automatisation où l'espace est limité, notre gamme comprend également des capteurs particulièrement compacts mais puissants.


"L'industrie des semi-conducteurs est une pierre angulaire essentielle dans le monde d'aujourd'hui, car elle est le moteur de l'innovation dans divers secteurs. En tant que Global Market Segment Manager, mon objectif est de suivre en permanence l'évolution du marché, de comprendre vos besoins spécifiques en matière de fabrication de semi-conducteurs et de veiller ainsi à ce que nos offres apportent les meilleurs résultats dans tous nos cas d'utilisation dans cette industrie. Aujourd'hui, nous servons déjà des clients du segment de la fabrication de semi-conducteurs dans divers domaines tels que la manipulation des plaquettes, le traitement des plaquettes ou la manipulation des supports."

(Benjamin Renz, Global Market Segment Manager, Semiconductors & Electronics)

Applications Spotlight dans l'industrie des semi-conducteurs

Apprenez-en plus sur des applications sélectionnées qui vous donnent un aperçu de la manière dont des défis spécifiques dans l'industrie des semi-conducteurs sont résolus de manière fiable et avec précision grâce aux composants de Balluff.


Autres exemples d'applications adaptés à votre domaine d'application individuel

Découvrez comment les solutions de Balluff assurent de manière fiable une précision extrême à chaque étape critique du processus de fabrication des semi-conducteurs.

Manipulation de wafers :
Haute précision également entre les étapes du processus

Pour la manipulation des wafers dans le module EFEM, comme sur l'effecteur final ou le pré-aligneur, vous obtenez chez Balluff une haute précision. En effet, seule une précision extrême permet de positionner les wafers avec exactitude et les transporter de manière fiable et les acheminer vers chaque étape de traitement individuelle.

Nos capteurs et systèmes sont disponibles dans de petites formes de construction afin de résoudre facilement l'intégration exigeante dans la machine. Pour les conditions particulièrement difficiles, nous adaptons également notre technique individuellement à vos exigences.

Les principes de mesure sans contact évitent l'abrasion, de sorte que la classe de salle blanche reste garantie tout au long du processus. Profitez de la surveillance fiable de la manipulation des wafers et sécurisez votre processus.


Traitement des wafers :
Agir de manière fiable dans un environnement chimique

Afin de répondre aux exigences particulières de la fabrication de semi-conducteurs, vous trouverez chez Balluff des solutions optimales pour les processus en chimie humide. Des boîtiers spéciaux en PTFE vous permettent un contrôle fiable du niveau de remplissage - comme lors de la gravure, du nettoyage des wafers ou du vernissage et du développement en lithographie. Nos capteurs de température veillent à ce que la température du processus soit également correcte. En effet, les capteurs à contact vous permettent de surveiller de manière fiable les températures lors du traitement des wafers.

Grâce à nos capteurs, vous contrôlez également la course de la vanne lors du traitement des wafers, ce qui vous permet de créer des couches homogènes et idéales lors du dépôt.


Manipulation de carriers :
Positionner avec précision sans contact

Les systèmes Balluff soutiennent la manipulation précise et efficace des supports qu'il s'agisse d'un FOUP ou d'un SMIF-Pod. Avec nos systèmes, vous surveillez les mouvements de l'AMHS lors du transport entièrement automatique des carriers. Et ce, de manière extrêmement fiable, aussi bien sur les courtes distances avec les RGV que sur les longues distances avec les OHV.

En même temps, les systèmes sans contact assurent un positionnement précis. Vos pièces peuvent ainsi être wafers en toute sécurité à chaque étape de traitement. Le frottement et le clivage ne sont donc plus un problème.

Les systèmes Balluff garantissent en outre une traçabilité continue. Ils garantissent que la position du porteur soit documentée en temps réel est assurée.


Applications sous vide :
Pour soutenir la sécurité des processus

Dans l'industrie des semi-conducteurs, les wafers sont souvent traités dans des environnements sous vide afin d'assurer un environnement propre et sans contamination de garantir un environnement sain.

Les capteurs de Balluff se distinguent par des propriétés et des caractéristiques de construction exceptionnelles, qui permettent de les utiliser directement dans le vide. Par exemple, lors de l'alignement à la volée dans le sas à vide ou pour contrôler la présence de wafers. Nous proposons des modèles à visser avec fonction d'étanchéité ainsi que des capteurs à installer directement dans le vide poussé. Pour garantir la sécurité des processus, nous utilisons des matériaux optimisés pour le dégazage. Sur demande, nous fabriquons également les capteurs dans les matériaux que vous nous avez indiqués. Les signaux des capteurs sont transmis en toute sécurité par des câbles électriques via des passe-câbles.


Produits phares pour l'industrie des semi-conducteurs

Découvrez des produits spécialisés qui ont été développés pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Que ce soit par leur précision lors du mappage des wafers ou par leur robustesse particulièrement élevée pour la surveillance des vannes ALD, nos produits vous aident à augmenter la disponibilité de vos machines et à garantir la qualité de vos produits.

Laissez-nous tirer le meilleur parti de vos installations

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  • Industry brochure semiconductor industry
  • Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
  • Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
  • Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
  • BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
  • Micromote – high optical performance in the smallest space

Vous avez des questions ou des suggestions ? Nous restons à votre entière disposition.

Il y a plusieurs façons de nous contacter. Nous nous réjouissons de pouvoir vous aider. Contact par email: [email protected]

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