Cattura dei fluidi di processo a contatto con il supporto

La produzione di semiconduttori prevede molti processi a umido, come la pulizia con acqua ultrapura, che viene eseguita più volte durante il ciclo di produzione. Altri processi, come l'incisione, richiedono sostanze chimiche aggressive. Indipendentemente dal processo, i liquidi necessari devono essere stoccati in serbatoi e il loro livello deve essere monitorato.

Tuttavia, la misurazione del livello di sostanze chimiche corrosive può rappresentare una sfida particolare per i sensori. Soprattutto se la parete del serbatoio non consente il rilevamento dall'esterno. In questo caso, i nostri sensori capacitivi con custodia rivestita in PTFE sono la scelta giusta. Sono in grado di rilevare il rilevare il livello di sostanze altamente conduttive, come acidi e alcali, direttamente nel liquido di processo. Ciò significa che l'incisione, l'applicazione di una resistenza, lo sviluppo dopo la litografia o la lucidatura chimico-meccanica e la pulizia del wafer possono iniziare come previsto.

I materiali delle custodie dei nostri sensori di livello sono in acciaio inossidabile o in materiali plastici chimicamente resistenti come il PTFE o il PEEK, che sono inerti e molto resistenti al calore . Anche il monitoraggio del livello di fluidi molto aggressivi può essere risolto a contatto con il fluido, poiché le nostre speciali custodie per sensori sono in grado di resistere agli acidi aggressivi.

I nostri sensori bagnati sono quindi ideali per l'automazione nell'industria dei semiconduttori.

Prodotti per il monitoraggio del livello a umido nell'industria dei semiconduttori

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