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L'automazione nell'industria dei semiconduttori

Precisione per la produzione di semiconduttori, impianti solari e display

Soluzioni per l'industria dei semiconduttori

Comunicazione mobile, Internet of Things, Smart Factory, Smart Home: tutti questi sviluppi sono guidati dalla crescente digitalizzazione. Al centro di tutte queste tecnologie ci sonoi semiconduttori, che sono diventati indispensabili nell'industria come componente principale dei microchip.sono diventati indispensabili nell'industria. Con il progredire della digitalizzazione, aumentano anche le esigenze dei semiconduttori. Ad esempio, i chip devono diventare sempre più potenti. Allo stesso tempo, nella produzione di semiconduttori è necessario gestire in modo economico un processo altamente complesso e tecnologicamente molto impegnativo.

Balluff vi offre un supporto competente per la lavorazione dei wafer nell'industria dei chip e del solare, nonché per la produzione di display.

Soluzioni di automazione di Balluff per l'industria dei semiconduttori

I requisiti individuali ed esigenti richiedono spesso soluzioni personalizzate. La nostra gamma di prodotti offre sia soluzioni standard che soluzioni personalizzate grazie al Customer Design & Engineering (CDE).
L'accuratezza di processo eccezionalmente elevata è garantita dai nostri sensori optoelettronici innovativi e di alta precisione con tecnologia MicroSPOT. Le teste dei sensori e l'unità di valutazione esterna possono essere facilmente integrate nelle vostre macchine.
Inoltre, le speciali caratteristiche di progettazione di alcuni sensori ne consentono l'utilizzo direttamente nel vuoto.
Per le applicazioni di automazione critiche dal punto di vista dello spazio, il nostro portafoglio comprende anche sensori particolarmente compatti ma potenti.


"L'industria dei semiconduttori è una pietra miliare del mondo di oggi, che guida l'innovazione in vari settori. In qualità di Global Market Segment Manager, il mio obiettivo è monitorare costantemente gli sviluppi del mercato, comprendere le vostre esigenze specifiche nella produzione di semiconduttori e quindi garantire che le nostre offerte portino i migliori risultati in tutti i casi di utilizzo in questo settore. Oggi serviamo già clienti del segmento della produzione di semiconduttori in diverse aree, come la movimentazione dei wafer, la lavorazione dei wafer o la movimentazione dei carrier."

(Benjamin Renz, Global Market Segment Manager, Semiconduttori ed Elettronica)

Applicazioni in primo piano nell'industria dei semiconduttori

Scoprite le applicazioni selezionate che vi danno un'idea di come le sfide specifiche dell'industria dei semiconduttori vengono risolte in modo affidabile e preciso utilizzando i componenti Balluff.


Ulteriori esempi di applicazione per soddisfare il vostro settore di applicazione individuale

Scoprite come le soluzioni Balluff assicurano in modo affidabile l'estrema precisione in ogni fase critica del processo di produzione dei semiconduttori.

Manipolazione dei wafer:
Alta precisione anche tra le fasi di processo

Per la manipolazione dei wafer nel modulo EFEM, ad esempio sull'end effector o sul preallineatore, Balluff vi offre un'elevata precisione. Perché solo con estrema precisione i wafer possono essereI wafer possono essere posizionati in modo preciso e trasportati in modo affidabile.e alimentarli a ogni singola fase di lavorazione.

I nostri sensori e sistemi sono disponibili in versioni ridotte per una facile integrazione nella macchina. Per condizioni particolarmente difficili, possiamo anche personalizzare la nostra tecnologiasu misura per le vostre esigenze.

I principi di misurazione senza contatto evitano l'abrasione, in modo da garantire la classe di camera bianca durante l'intero processo. Utilizzate il monitoraggio affidabile della manipolazione dei wafer e rendete sicuro il vostro processo.


Lavorazione dei wafer:
Operare in modo affidabile in un ambiente chimico

Per soddisfare i requisiti speciali della produzione di semiconduttori, Balluff offre soluzioni ottimali per i processi in chimica umida. Le speciali custodie in PTFE consentono un controllo affidabile del livello, ad esempio durante l'incisione, la pulizia dei wafer o il rivestimento e lo sviluppo in litografia. I nostri sensori di temperatura assicurano che anche la temperatura di processo sia corretta. I sensori a contatto consentono di monitorare in modo affidabile le temperature durante la lavorazione dei wafer.

Con i nostri sensori è inoltre possibile controllare la corsa della valvola durante la lavorazione del wafer, in modo da produrre strati omogenei e ideali durante la deposizione.


Manipolazione del supporto:
Posizionamento preciso senza contatto

I sistemi Balluff supportano una manipolazione precisa ed efficiente dei carrier- indipendentemente dal fatto che il carrier sia un FOUP o una capsula SMIF. Con i nostri sistemi è possibile monitorare i movimenti dell'AMHS durante il trasporto completamente automatico dei vettori. E lo fanno in modo estremamente affidabile, sia su brevi distanze con gli RGV che su lunghe distanze con gli OHV.

Allo stesso tempo, i sistemi senza contatto garantiscono un posizionamento preciso. Ciò significa che iwafer possono essere alimentati in modo sicuro in ogni fase di lavorazione.. Attrito e scissione non sono un problema.

I sistemi Balluff garantiscono anche la tracciabilità end-to-end. Assicurano che la posizione delposizione del supporto è documentata in tempo reale.è documentata in tempo reale.


Applicazioni per il vuoto:
Per supportare l'affidabilità del processo

Nell'industria dei semiconduttori, i wafer vengono spesso lavorati in ambienti sottovuoto per garantire un ambiente pulito e privo di contaminazione.ambiente pulito e privo di contaminazione.ambiente privo di contaminazione.

I sensori di Balluff sono caratterizzati da proprietà e caratteristiche di design eccezionali che ne consentono l'utilizzo direttamente nel vuoto. Ad esempio, per l'allineamento al volo nel blocco del vuoto o per verificare la presenza di wafer. Offriamo versioni a vite con funzione di tenuta e sensori da installare direttamente nel vuoto spinto. Utilizziamo materiali ottimizzati per il degassamento per garantire l'affidabilità del processo.Su vostra richiesta, possiamo produrre i sensori nei materiali da voi specificati.I segnali dei sensori sono convogliati in modo sicuro attraverso cavi elettrici che utilizzano boccole per cavi.


Prodotti in evidenza per l'industria dei semiconduttori

Scoprite i prodotti specializzati sviluppati per soddisfare i requisiti dell'industria dei semiconduttori. Che si tratti di precisione nella mappatura dei wafer o di robustezza particolarmente elevata per il monitoraggio delle valvole ALD, i nostri prodotti vi aiutano ad aumentare la disponibilità delle macchine e a garantire la qualità dei prodotti.

Lasciateci ottenere il meglio dai vostri sistemi

Downloads

  • Industry brochure semiconductor industry
  • Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
  • Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
  • Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
  • BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
  • Micromote – high optical performance in the smallest space

Avete domande o suggerimenti? Siamo a vostra disposizione.

Per tutte le domande relative ad argomenti commerciali come preventivi, ordini, tempi di consegna, il nostro reparto vendite interno sarà lieto di supportarvi.

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Balluff Automation S.r.l

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