Centrowanie wafli za pomocą niestandardowych rozwiązań
Obsługa płytek w próżni
W produkcji półprzewodników precyzyjne i niezawodne centrowanie płytek ma kluczowe znaczenie na każdym etapie procesu. Wafle muszą być umieszczane w komorach procesowych z najwyższą dokładnością i w określonej orientacji. Ponieważ efektory końcowe robotów manipulacyjnych w rzeczywistości nie "chwytają" wafla, a jedynie go podnoszą, należy określić dokładną pozycję do przetwarzania. Jest to konieczne, aby zapewnić równomierne przetwarzanie wafla i uniknąć błędów, takich jak nierównomierne usuwanie lub deformacja.
Z pomocą naszych niestandardowych rozwiązań, wafle mogą być Wafle mogą być umieszczane dokładnie w zamierzonej pozycji. Wyrównanie wafla w locie, na przykład, można wykonać niezwykle niezawodnie za pomocą dwóch czujników fotoelektrycznych Micromote. Ich wysoce precyzyjne sygnały umożliwiają obliczenie przesunięcia do idealnej linii, jeśli dwie bariery świetlne nie są przełączane jednocześnie. Dzięki naszej technologii mikropunktowej można korygować wafel podczas ruchu ponieważ precyzyjnie rozpoznaje ostre krawędzie płytki.
Aby jak najdokładniej wykryć pozycjonowanie, nasze wzmacniacze do głowic czujników optycznych wspomagają czujniki w centrowaniu płytek ze szczególnie wysoką częstotliwością przełączania.
Standard nie spełnia Twoich wymagań? Oprócz naszego szerokiego standardowego portfolio, oferujemy również rozwiązania dostosowane do indywidualnych potrzeb. Skontaktuj się z nami, aby omówić swoje wymagania.
Benjamin Renz, Global Market Segment Manager, Semiconductors & Electronics
Cechy szczególne
- Niezwykle skupiony punkt LED o wyjątkowej jednorodności
- Najmniejsze, zajmujące niewiele miejsca konstrukcje
- Indywidualne rozwiązania
Produkty do centrowania wafli
Pozwól nam wydobyć to, co najlepsze z Twoich systemów
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions