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將晶圓居中
使用兩個 Micromote 光柵可以非常安全地解決飛行中晶圓的對準問題。如果兩個光柵不同時切換，它們的高精度信號可以計算到理想線路的偏移量。得益於我們的微點技術，您可以在晶圓移動時對其進行校正，因為它可以精確檢測銳利的晶圓邊緣。
特殊性
- 極其集中的 LED 光斑，具有出色的均勻性
- 最小、節省空間的設計
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