Productos
- Sensores y tecnología de red excepcionales para las industrias de envasado, alimentaria, de bebidas, farmacéutica y cosmética
- Tecnología de Accionamiento
- Metalurgia
- Equipo Móvil
- Industria automotriz y sus proveedores
- Automatización en la industria de semiconductores
- Ciencias de la vida
- Industria del plástico
- Producción de energía
- Automatización intralogística: mejorar la eficacia y el rendimiento
- Industria metalúrgica y del acero
- Tecnología de Energía Fluida
- Electrodomésticos
- Industria electrónica
- Revolución en la automatización de la producción de pilas: máxima eficacia y calidad
- Industria de Neumáticos
- Ingeniería de tráfico
Automatización en la industria de semiconductores
Precisión para la producción de semiconductores, energía solar y pantallas
Comunicación móvil, Internet de las cosas, fábrica inteligente, hogar inteligente: todos estos avances están impulsados por la digitalización. En el corazón de todas estas tecnologías se encuentran los semiconductores, que se han hecho indispensables en la industria como componente principal de los microchips se han hecho indispensables en la industria. A medida que avanza la digitalización, aumentan también las exigencias a los semiconductores. Por ejemplo, los chips deben ser cada vez más potentes. Al mismo tiempo, en la producción de semiconductores hay que dominar económicamente un proceso muy complejo y tecnológicamente muy exigente.
Balluff le ofrece apoyo competente para el procesamiento de obleas en la industria de chips y solar, así como para la producción de pantallas.
Soluciones de automatización de Balluff para la industria de semiconductores
Los requisitos individuales y exigentes requieren a menudo soluciones a medida. Nuestra gama de productos ofrece tanto soluciones estándar como soluciones a medida de Customer Design & Engineering (CDE).
Con nuestros innovadores sensores optoelectrónicos de alta precisión con tecnología MicroSPOT se garantiza una precisión de proceso extraordinariamente alta. Los cabezales sensores y la unidad de evaluación externa pueden integrarse fácilmente en sus máquinas.
Además, las características especiales de diseño de algunos sensores permiten utilizarlos directamente en vacío.
Para aplicaciones de automatización en las que el espacio es un factor crítico, nuestra cartera también incluye sensores especialmente compactos pero potentes.
Diseño e ingeniería personalizados
Soluciones personalizadas para aplicaciones exigentes.
MicroSPOT
Tecnología MicroSPOT para una precisión de proceso excepcionalmente alta.
Compatible con el vacío
Sensores diseñados para su uso en vacío.
Miniaturización
Tamaños muy pequeños para espacios reducidos.
"La industria de los semiconductores es un pilar fundamental en el mundo actual, que impulsa la innovación en diversos sectores. Como Director Global de Segmento de Mercado, mi objetivo es supervisar constantemente la evolución del mercado, comprender sus requisitos exclusivos en la fabricación de semiconductores y garantizar así que nuestras ofertas aporten los mejores resultados en todos nuestros casos de uso en esta industria. En la actualidad ya atendemos a clientes del segmento de fabricación de semiconductores en diversas áreas, como la manipulación de obleas, el procesamiento de obleas o la manipulación de soportes."
(Benjamin Renz, Director del segmento de mercado global de semiconductores y electrónica)
Aplicaciones destacadas en la industria de semiconductores
Obtenga más información sobre aplicaciones seleccionadas que le ofrecen una visión de cómo se resuelven de forma fiable y precisa los retos específicos de la industria de semiconductores utilizando componentes Balluff.
Otros ejemplos de aplicación adaptados a su área de aplicación individual
Descubra cómo las soluciones Balluff garantizan de forma fiable una precisión extrema en cada paso crítico del proceso de fabricación de semiconductores.
Manipulación de obleas:
Alta precisión incluso entre los pasos del proceso
Para la manipulación de obleas en el módulo EFEM, como por ejemplo en el efector final o en el prealineador, Balluff le ofrece una alta precisión. Porque sólo con una precisión extrema pueden posicionarse las obleas con exactitud obleas pueden posicionarse con precisión y transportarse de forma fiable y alimentarlas a cada paso de procesamiento individual.
Nuestros sensores y sistemas están disponibles en diseños pequeños para una fácil integración en la máquina. Para condiciones especialmente difíciles, también podemos personalizar nuestra tecnologíaa la medida de sus necesidades.
Los principios de medición sin contacto evitan la abrasión, por lo que la clase de sala limpia está garantizada durante todo el proceso. Utilice la supervisión fiable de la manipulación de obleas y asegure su proceso.
Procesamiento de obleas:
Trabajar de forma fiable en un entorno químico
Para cumplir los requisitos especiales de la producción de semiconductores, Balluff le ofrece soluciones óptimas para procesos en la química húmeda. Las carcasas especiales de PTFE permiten un control fiable del nivel, p. ej. durante el grabado, la limpieza de obleas o el recubrimiento y revelado en la litografía. Nuestros sensores de temperatura garantizan que la temperatura del proceso también sea la correcta. Los sensores de contacto permiten controlar de forma fiable las temperaturas durante el procesamiento de las obleas.
Con nuestros sensores, también puede controlar la carrera de la válvula durante el procesamiento de las obleas para producir capas homogéneas e ideales durante la deposición.
Manipulación de soportes:
Posicionamiento exacto sin contacto
Los sistemas Balluff apoyan la manipulación precisa y eficiente de soportes- independientemente de si se trata de un soporte FOUP o SMIF. Con nuestros sistemas puede supervisar los movimientos del AMHS durante el transporte totalmente automático de los portadores. Y lo hacen de forma extremadamente fiable, tanto en distancias cortas con los RGV como en distancias largas con los OHV.
Al mismo tiempo, los sistemas sin contacto garantizan un posicionamiento preciso. Esto significa que las obleas se transportan de forma segura a cada paso de procesamiento. La fricción y la rotura no suponen ningún problema.
Además, los sistemas Balluff garantizan la trazabilidad de principio a fin. De este modo, laposición del soporte se documenta en tiempo real queda documentada en tiempo real.
Aplicaciones de vacío:
Para garantizar la fiabilidad del proceso
En la industria de semiconductores, las obleas se procesan a menudo en entornos de vacío para garantizar un entorno limpio y libre de contaminación.
Los sensores de Balluff se caracterizan por sus excelentes propiedades y características de diseño que permiten su uso directamente en el vacío. Por ejemplo, para la alineación sobre la marcha en la esclusa de vacío o para comprobar la presencia de obleas. Ofrecemos versiones atornillables con función de sellado, así como sensores para su instalación directamente en alto vacío. Utilizamos materiales optimizados para la desgasificación a fin de garantizar la fiabilidad del proceso. Las señales de los sensores se conducen de forma segura a través de cables eléctricos mediante pasacables.
Productos destacados para la industria de semiconductores
Descubra los productos especializados que se han desarrollado para satisfacer los requisitos de la industria de semiconductores. Ya sea mediante la precisión en el mapeado de obleas o mediante una robustez especialmente alta para la supervisión de válvulas ALD, nuestros productos le ayudan a aumentar la disponibilidad de su máquina y a garantizar la calidad del producto.
Permítanos obtener lo mejor de sus sistemas
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
-
Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
-
Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
-
BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
-
Micromote – high optical performance in the smallest space