Industria de Semiconductores

Comunicación móvil - Internet de las cosas - Fábrica inteligente - Hogar inteligente. Lo que todos estos desarrollos actuales tienen en común es la digitalización. Con semiconductores como su corazón. Esto hace que la industria de los semiconductores sea pionera.

Pero el cambio a lugares digitales exige a la industria al mismo tiempo. Por ejemplo, los chips deben proporcionar un rendimiento aún mayor. La producción de chips en sí misma es un proceso altamente complejo y tecnológicamente extremadamente exigente para dominar los costos de manera eficiente.

Cuando se trata de procesar obleas en las industrias de chips y energía solar, así como de la producción de pantallas, Balluff le ofrece asistencia y orientación experta.

Con soluciones miniaturizadas fiables para aplicaciones de sala limpia, como en el manejo de obleas o en ambientes químicos agresivos. Nuestra experiencia técnica integral y sólida también nos permite resolver los desafíos individuales específicos de su aplicación.

Manipulación de wafers: Detección fiable de presencia de obleas

La línea de microsensores ópticos MICROmote de Balluff está diseñada para proporcionar soluciones de detección precisa incluso en aplicaciones de alto vacío y ultra alto vacío. Existen dos tipos de sensores fundamentales: para instalación en la pared de la cámara de vacío o para instalación completa en el entorno UHV (ultra alto vacío). Los sensores MICROmote con amplificadores independientes son ideales para aplicaciones ópticas en alto vacío. Los cabezales de los sensores son pequeños y se les puede dar casi cualquier forma que especifique el usuario.

Procesamiento de obleas: Procesamiento fiable en entornos químicos

Para enfrentar los desafíos especiales de la producción de semiconductores, Balluff le ofrece soluciones óptimas para procesos en química húmeda. Las carcasas especiales de PTFE le permiten controlar los niveles, como al grabar, limpiar las obleas o recubrir y revelar en litografía. Nuestros sensores de temperatura aseguran que la temperatura del proceso sea correcta. Debido a que estos sensores de contacto le permiten monitorear de manera fiable las temperaturas en el procesamiento de obleas.

Con nuestros sensores también puede controlar la carrera de la válvula, para que pueda producir capas homogéneas e ideales en descarga.

Manejo de la transportadora: Posicionamiento exacto sin contacto

Los sistemas Balluff admiten el manejo preciso y eficiente de la transportadora , ya sea un pod FOUP o SMIF. Cuando se utilizan bandas transportadoras totalmente automáticas, nuestros sistemas monitorean los movimientos del AMHS. Con extrema fiabilidad, tanto en distancias cortas con RGV como en largas distancias con OHV.

Al mismo tiempo, nuestros sistemas sin contacto proporcionan un posicionamiento exacto. Sus obleas se transportan de manera fiable a cada paso del proceso. La abrasión y la separación no son un problema.

Los sistemas Balluff también proporcionan una trazabilidad constante. Se aseguran de que la posición de la transportadora se documente en tiempo real.

Aplicaciones de vacío: Ayudamos con la seguridad del proceso

Los sensores de Balluff con sus extraordinarias características de diseño le permiten usarlos directamente en entornos de vacío. Por ejemplo, durante la alineación sobre la marcha cuando la oblea está centrada en el cierre de vacío o cuando necesita verificar su presencia.

Ofrecemos versiones de rosca con función de sellado, así como sensores para instalación directamente en alto vacío. Sus señales se transmiten de manera fiable a través de cables eléctricos mediante un accesorio de cable. Y tome nota: dado que utilizamos materiales optimizados para desgasificación para la construcción del sensor, su proceso permanece siempre seguro. Si se solicita, también podemos producir los sensores en los materiales que usted especifique.