Zachycení procesních kapalin, které jsou v kontaktu s médiem.
Zpracování destiček: kontrola hladiny v chemickém prostředí
Výroba polovodičů zahrnuje mnoho mokrých procesů, jako je čištění ultračistou vodou, které se provádí několikrát během výrobního cyklu. Jiné procesy, například leptání, vyžadují agresivní chemikálie. Bez ohledu na proces musí být potřebné kapaliny skladovány v nádržích a jejich hladiny monitorovány.
Měření hladiny korozivních chemikálií však může pro senzory představovat zvláštní výzvu. Zejména pokud stěna nádrže neumožňuje detekci zvenčí. V takovém případě jsou naše kapacitní senzory s pouzdrem potaženým teflonem tou správnou volbou. Ty dokáží detekovat detekovat hladinu vysoce vodivých médií - jako jsou kyseliny a zásady - přímo v procesní kapalině. To znamená, že leptání, nanášení rezistu, vyvolávání po litografii nebo chemicko-mechanické leštění a čištění destičky může začít podle plánu.
Materiály krytů našich snímačů hladiny jsou vyrobeny z nerezové oceli nebo chemicky odolných plastů, jako je PTFE nebo PEEK, které jsou inertní a velmi odolné vůči teplu odolné vůči teplu. Dokonce i sledování hladiny velmi agresivních médií lze řešit v kontaktu s médiem, protože naše speciální pouzdra snímačů odolávají agresivním kyselinám.
Naše smáčené senzory jsou proto ideální pro automatizaci v polovodičovém průmyslu.
Standard zcela neodpovídá vašim požadavkům? Kromě našeho rozsáhlého standardního portfolia nabízíme také řešení na míru. Kontaktujte nás a prodiskutujte s námi své požadavky.
Benjamin Renz, manažer globálního tržního segmentu, polovodiče a elektronika
Speciální funkce
- Vysoká chemická odolnost díky např. pouzdru z PTFE
- pro kyseliny, louhy, ultračistou vodu a kaly.
- Kompenzace pěny a nánosů díky technologii Smart Level
- Přesná a spolehlivá detekce
Výrobky pro hlídání smáčené hladiny v polovodičovém průmyslu
Nechte nás vytěžit z vašich systémů to nejlepší
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions