Přihlásit se

Přihlaste se prosím pro individuální kalkulaci ceny.

Zapomněli jste heslo?
Nemáte zřízený účet? Zaregistrujte se níže.

Zkontrolujeme, zda u nás již máte zákaznické číslo, abychom s ním mohli propojit Váš nový online účet.

Registrovat

Kontakt & Technická podpora

Produkty
Obory a Řešení
Služby
Podnik

Automatizace v polovodičovém průmyslu

Přesnost pro výrobu polovodičů, solárních zařízení a displejů

Řešení pro polovodičový průmysl

Mobilní komunikace, internet věcí, chytrá továrna, chytrá domácnost - všechen tento vývoj je poháněn postupující digitalizací. Základem všech těchto technologií jsoupolovodiče, které se v průmyslu staly nepostradatelnou hlavní součástí mikročipů.se staly v průmyslu nepostradatelnými. S postupující digitalizací se zvyšují i nároky na polovodiče. Například čipy musí být stále výkonnější. Zároveň je třeba při výrobě polovodičů ekonomicky zvládnout velmi složitý a technologicky extrémně náročný proces.

Společnost Balluff vám nabízí kompetentní podporu při zpracování destiček v čipovém a solárním průmyslu i při výrobě displejů.

Automatizační řešení od společnosti Balluff pro polovodičový průmysl

Individuální a náročné požadavky často vyžadují řešení na míru. Náš sortiment nabízí jak standardní řešení, tak řešení na míru z oblasti Customer Design & Engineering (CDE).
Mimořádně vysokou přesnost procesu zaručují naše inovativní a vysoce přesné optoelektronické senzory s technologií MicroSPOT. Snímací hlavy a externí vyhodnocovací jednotku lze snadno integrovat do vašich strojů.
Speciální konstrukční vlastnosti některých senzorů navíc umožňují jejich použití přímo ve vakuu.
Pro prostorově kritické automatizační aplikace zahrnuje naše portfolio také mimořádně kompaktní a přitom výkonné senzory.


"Polovodičový průmysl je v dnešním světě důležitým základním kamenem, který pohání inovace v různých odvětvích. Mým cílem jako manažera globálního tržního segmentu je neustále sledovat vývoj na trhu, porozumět vašim jedinečným požadavkům v oblasti výroby polovodičů a zajistit tak, aby naše nabídky přinášely nejlepší výsledky ve všech případech použití v tomto odvětví. Již dnes obsluhujeme zákazníky ze segmentu výroby polovodičů v různých oblastech, jako je manipulace s wafery, zpracování waferů nebo manipulace s nosiči."

(Benjamin Renz, manažer globálního tržního segmentu pro polovodiče a elektroniku)

Hlavní aplikace v polovodičovém průmyslu

Zjistěte více o vybraných aplikacích, které vám umožní nahlédnout do toho, jak jsou konkrétní výzvy v polovodičovém průmyslu spolehlivě a přesně řešeny pomocí komponentů Balluff.


Další příklady aplikací pro vaši individuální oblast použití

Zjistěte, jak řešení Balluff spolehlivě zajišťují extrémní přesnost v každém kritickém kroku procesu výroby polovodičů.

Manipulace s destičkami:
Vysoká přesnost i mezi jednotlivými kroky procesu

Při manipulaci s destičkami v modulu EFEM, například na koncovém efektoru nebo při předběžném zarovnávání, vám společnost Balluff zajistí vysokou přesnost. Protože pouze s extrémní přesností lze destičkydestičky lze přesně polohovat a spolehlivě přepravovat.a podávat je do každého jednotlivého kroku zpracování.

Naše senzory a systémy jsou k dispozici v malém provedení pro snadnou integraci do stroje. Pro obzvláště náročné podmínky můžeme naši technologii také přizpůsobit na míru.na míru vašim požadavkům.

Principy bezkontaktního měření zabraňují otěru, takže je zaručena třída čistoty v průběhu celého procesu. Využijte spolehlivé monitorování manipulace s destičkami a zabezpečte svůj proces.


Zpracování destiček:
Spolehlivý provoz v chemickém prostředí

Pro splnění speciálních požadavků výroby polovodičů vám společnost Balluff nabízí optimální řešení pro procesy v mokré chemii. Speciální PTFE pouzdra umožňují spolehlivou kontrolu hladiny - například při leptání, čištění destiček nebo nanášení a vyvolávání v litografii. Naše teplotní senzory zajišťují také správnou teplotu procesu. Kontaktní senzory umožňují spolehlivě sledovat teploty během zpracování destiček.

Pomocí našich senzorů můžete také kontrolovat zdvih ventilů během zpracování waferů, abyste mohli vytvářet homogenní a ideální vrstvy během depozice.


Manipulace s nosiči:
Přesné polohování bez kontaktu

Systémy Balluff podporují přesnou a efektivní manipulaci s nosiči.- ať už se jedná o nosič FOUP nebo SMIF. S našimi systémy můžete sledovat pohyby AMHS během plně automatické přepravy nosičů. A to mimořádně spolehlivě, jak na krátkých vzdálenostech s RGV, tak na dlouhých vzdálenostech s OHV.

Bezkontaktní systémy zároveň zajišťují přesné polohování. To znamená, že vašedestičky mohou být bezpečně dopraveny do každého kroku zpracování.. Tření a štěpení nepředstavují žádný problém.

Systémy Balluff také zaručují sledovatelnost od konce ke konci. Ty zajišťují, žepozice nosiče je dokumentována v reálném čase.je dokumentována v reálném čase.


Vakuové aplikace:
Pro podporu spolehlivosti procesu

V polovodičovém průmyslu se destičky často zpracovávají ve vakuovém prostředí, aby se zajistila čistota a spolehlivost.čistého a nekontaminovaného prostředí.Prostředí bez kontaminace.

Senzory od společnosti Balluff se vyznačují vynikajícími vlastnostmi a konstrukčními prvky, které umožňují jejich použití přímo ve vakuu. Například pro zarovnávání za chodu ve vakuovém zámku nebo pro kontrolu přítomnosti destiček. Nabízíme šroubovací verze s těsnicí funkcí i senzory pro instalaci přímo ve vysokém vakuu. Používáme materiály optimalizované pro odplyňování, abychom zajistili spolehlivost procesu.Na vaše přání můžeme senzory vyrobit také z materiálů, které si sami určíte.Signály ze snímačů jsou bezpečně vyvedeny elektrickými kabely pomocí kabelových průchodek.


Nejdůležitější produkty pro polovodičový průmysl

Objevte specializované produkty, které byly vyvinuty pro splnění požadavků polovodičového průmyslu. Ať už díky přesnosti při mapování destiček, nebo díky obzvláště vysoké robustnosti při monitorování ALD ventilů - naše produkty vám pomohou zvýšit dostupnost vašich strojů a zajistit kvalitu výrobků.

Nechte nás vytěžit z vašich systémů to nejlepší

Downloads

  • Industry brochure semiconductor industry
  • Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
  • Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
  • Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
  • BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
  • Micromote – high optical performance in the smallest space

Máte nějaké dotazy nebo návrhy? Jsme tu pro vás.

Máte několik možností, jak se s námi spojit. Rádi Vám zodpovíme Vaše dotazy.

Kontaktujte nás přímo telefonicky: +420 281 000 666


Balluff CZ s.r.o.

Pelušková 1400
198 00 Praha 9 - Kyje

Spojte se s námi:
[email protected]