エンドエフェクタ上のウエハの存在の確認
ガス放出を最適化した Balluff の光学式拡散反射型光電センサを使用すれば、エンドエフェクタ上のウエハの存在をアブソリュート方式で確実に確認できるため、クラッシュを心配する必要がありません。Balluff の拡散反射型光電センサは、エンドエフェクタが非常に薄い場合でも、完璧にエンドエフェクタに組み込むことができます。それは、取付け高さが非常に低く、わずか 1.7 mm であるからです。
特長
- 極めてフラットで、エンドエフェクタに最適
- クリーンルームに適合：ガス放出が最適化されている
- 遠隔調整が容易
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