製品紹介
ウエハの存在の確認
電子部品を含まない Balluff の光電センサは、小さな光点を用いる特殊な光学系によって、視野チャネルを通してウエハやキャリアの存在を検出します。真空用に設計されている拡散反射型光電センサは、ステンレスハウジングに入っており、プロセスチャンバ内に簡単にねじ止めできます。チャンバは密閉されており、ケーブル通し穴が不要になっています。
特長
- 小さな光点を用いるマイクロオプティクス
- 密閉機能を備えた堅牢なステンレスハウジング
- 1 × 10–9 mbar までのバキュームアプリケーションに対応
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