各工程でのウエハ温度の維持
Balluff の媒体接触式温度センサは、温度制御される工程でプロセス媒体の温度を維持するサポートをします。これは液体または気体の媒体で行われます。その際に、限界温度などのプロセスの危機的な状態をチェックすることや、温度値を連続的に監視することもできます。どのように使用するかは常に使用者が決定でき、いずれにしてもこのセンサはプロセス信頼性に貢献します。
特長
- ねじ止め機能による簡単な取付け
- 液体または気体の媒体で温度を直接測定
- コンパクトな構造
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