製品紹介
ロボットの回転の確実な監視
ロボットのエンドエフェクタをアブソリュート方式で正確に位置決めするには、Balluff の磁気ロータリーエンコーダシステムが最適です。これらは、エンドエフェクタを運んでその終端位置に配置し、最終的にウエハを置くロボットジョイントの回転動作を確認します。
特長
- 簡単に統合可能、小型のセンサヘッド
- 軽量であるため、ロボットに最適
- センサとリング間のクリアランスが大きい：取付けが容易 – 高い作動信頼性
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry