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엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인
PTFE 코팅된 정전 용량 센서를 이용하여 엔드 이펙트에서 웨이퍼의 존재여부를 확인할 수 있습니다. 이 센서는 처지는 경우에도 뛰어난 안정성으로 초박형 웨이퍼를 감지합니다. 설치 높이는 단지 2.5mm이기에 엔드 이팩터로 완벽한 통합을 보장합니다. 외부 증폭기는 쉽게 원격 조정이 가능합니다.
주요 특성
- 완벽한 플랫(Flat) : 2.5mm
- PTFE 본체, 다양한 표면에 적합
- 최소한의 패키지로 높은 정밀성
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