제품
각각의 공정 단계에서 웨이퍼 온도 확인
발루프의 매체 접촉 온도 센서는 온도 제어 프로세스에서 공정 매체의 열을 유지하게 도와줍니다.그리고 이 센서는 액체 또는 기체에도 가능합니다.온도 제한과 같은 중대한 공정 상태를 지속적으로 모니터링 할 수 있습니다. 이 센서를 사용하려 선택만 하여도, 이 센서는 공정 보안에 크게 기여할 것입니다.
주요 특성
- 간단한 설치
- 직접 또는 기체의 온도 측정
- 소형 폼 팩터
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