맞춤형 솔루션을 통한 웨이퍼 센터링
진공 상태에서의 웨이퍼 취급
반도체 생산에서 웨이퍼의 정확하고 안정적인 센터링은 모든 공정 단계에서 매우 중요합니다. 웨이퍼는 공정 챔버에 매우 정확하게 특정 방향으로 배치되어야 합니다. 핸들링 로봇의 엔드 이펙터는 웨이퍼를 실제로 '잡는' 것이 아니라 들어올리는 역할만 하기 때문에 처리를 위해 정확한 위치를 결정해야 합니다. 이는 웨이퍼의 균일한 처리를 보장하고 고르지 않은 제거 또는 변형과 같은 오류를 방지하기 위해 필요합니다.
맞춤형 솔루션의 도움으로 웨이퍼를 다음과 같이 처리할 수 있습니다.웨이퍼를 의도한 위치에 정확하게 배치할 수 있습니다.. 예를 들어, 웨이퍼를 즉석에서 정렬하는 작업은 두 개의 Micromote 광전 센서를 사용하여 매우 안정적으로 수행할 수 있습니다. 고정밀 신호를 통해 두 개의 라이트 배리어가 동시에 전환되지 않는 경우 이상적인 라인에 대한 오프셋을 계산할 수 있습니다. 마이크로스팟 기술 덕분에 다음을 수행할 수 있습니다.이동 중 웨이퍼 보정웨이퍼의 날카로운 모서리를 정확하게 인식하기 때문입니다.
가능한 한 정확하게 위치를 감지하기 위해 발루프의 광학 센서 헤드용 증폭기는 특히 높은 스위칭 주파수로 센서가 웨이퍼의 중앙에 위치할 수 있도록 지원합니다.
표준이 요구 사항을 충족하지 않나요? 광범위한 표준 포트폴리오 외에도 맞춤형 솔루션도 제공합니다. 요구 사항을 논의하려면 당사에 문의하세요.
- 벤자민 렌츠(Benjamin Renz) 반도체 및 전자제품 글로벌 시장 부문 매니저
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