Ultrapłaskie czujniki do produkcji wafli

Zdjęcie: Wafel na urządzeniu końcowym. Źródło obrazu: © Fabmatics GmbH

Sektor przemysłu:Przemysł półprzewodnikowyKlient:Fabmatics GmbH, Drezno, Niemcy

Fabmatics GmbH, z siedzibą w Dreźnie, jest doświadczonym specjalistą w zakresie automatyzacji przepływu materiałów i procesów obsługi w fabrykach półprzewodników, zakładach przetwórstwa półprzewodników i innych zaawansowanych technologicznie środowiskach produkcyjnych. Założona w 1991 roku firma od ponad 30 lat z powodzeniem realizuje projekty automatyzacji dostosowane do potrzeb klientów w branży półprzewodników. Zaowocowało to silną pozycją rynkową, szczególnie w zakresie modernizacji 200-milimetrowych fabryk półprzewodników na całym świecie.

Sytuacja

Aby wykrywać substraty w systemach obsługi dla przemysłu półprzewodników, w efektorach końcowych zwykle muszą być stosowane bardzo płaskie czujniki, aby zachować mały kontur efektora końcowego. W tak zwanych skrzynkach na wafle, poszczególne - bardzo cenne - wafle są ułożone bardzo blisko siebie. Rzeczywista wolna przestrzeń dostępna dla efektora końcowego jest również ograniczona przez inne czynniki. Powoduje to, że geometria efektora końcowego ma czasami tylko kilka milimetrów grubości.

Oprócz wymogu generowania jak najmniejszej liczby cząstek, konieczne jest również zminimalizowanie zanieczyszczenia spowodowanego na przykład odgazowywaniem węglowodorów z tworzyw sztucznych.

Wyzwanie

Stale rosnąca miniaturyzacja komponentów półprzewodnikowych prowadzi do coraz większych wymagań, aby stosowane materiały były wolne od zanieczyszczeń. Można to osiągnąć jedynie poprzez wybór odpowiednich materiałów. Te ogólne warunki oznaczają, że czujniki wymagane do wykrywania obecności substratów muszą mieć ultrapłaską konstrukcję bez uszczerbku dla niezawodności lub możliwości wykrywania.

Rozmiar czujnika i użyte materiały są zatem szczególnie ważne.

Rozwiązanie

Balluff posiada szeroką ofertę, aby spełnić te wymagania. Dzięki wieloletniemu doświadczeniu w dziedzinie technologii czujników szybko znaleziono odpowiedni system.

Jak został on wdrożony?

Jako alternatywę dla czujników optycznych, Balluff oferuje bardzo cienkie czujniki pojemnościowe w kształcie dysku. Takie czujniki mają tę zaletę, że są niezależne od powierzchni wykrywanego materiału. Ta kompaktowa konstrukcja umożliwia zaprojektowanie jak najmniejszego efektora końcowego, zapewniając w ten sposób kompaktową i wydajną obsługę materiału.

Firma Balluff rozwiązuje wyzwanie zapobiegania zanieczyszczeniu przez odgazowanie, stosując w konstrukcji tych czujników specjalne materiały, takie jak stal nierdzewna i Teflon® (PTFE). Gwarantuje to użytkowanie bez odgazowywania i umożliwia płynną produkcję.

Zalety

Produkty

Fabmatics wykorzystuje czujniki pojemnościowe do wykrywania krążków waflowych w efektorze końcowym. Istnieje wiele różnych wariantów i obszarów zastosowań w tym obszarze. Wykorzystanie wzmacniaczy przełączających oferuje główną zaletę. Sam czujnik jest bardzo mały, ponieważ elektronika oceniająca jest umieszczona w zewnętrznej obudowie - wzmacniaczu przełączającym. Można go umieścić w skrzynce rozdzielczej poza obszarem detekcji, oszczędzając w ten sposób cenne miejsce w systemie.