Wychwytywanie płynów procesowych mających kontakt z medium
Przetwarzanie wafli: kontrola poziomu w środowisku chemicznym
Produkcja półprzewodników obejmuje wiele procesów mokrych, takich jak czyszczenie ultraczystą wodą, które jest przeprowadzane kilka razy w całym cyklu produkcyjnym. Inne procesy, takie jak trawienie, wymagają agresywnych chemikaliów. Niezależnie od procesu, wymagane ciecze muszą być przechowywane w zbiornikach, a ich poziomy monitorowane.
Jednak pomiar poziomu żrących chemikaliów może stanowić szczególne wyzwanie dla czujników. Zwłaszcza jeśli ściana zbiornika nie pozwala na wykrywanie z zewnątrz. W takim przypadku dobrym wyborem są nasze czujniki pojemnościowe z obudową pokrytą PTFE. Mogą one wykrywać Wykrywają poziom mediów o wysokim przewodnictwie - takich jak kwasy i zasady - bezpośrednio w cieczy procesowej. Oznacza to, że wytrawianie, nakładanie rezystancji, opracowywanie po litografii lub chemiczno-mechaniczne polerowanie i czyszczenie płytki może rozpocząć się zgodnie z planem.
Obudowy naszych czujników poziomu są wykonane ze stali nierdzewnej lub chemicznie odpornych tworzyw sztucznych, takich jak PTFE lub PEEK, które są obojętne i bardzo odporne na ciepło obojętne i bardzo odporne na ciepło odporne na ciepło. Nawet monitorowanie poziomu bardzo agresywnych mediów można rozwiązać w kontakcie z mediami, ponieważ nasze specjalne obudowy czujników są odporne na agresywne kwasy.
Nasze czujniki zwilżane są zatem idealne do automatyzacji w przemyśle półprzewodników.
Standard nie spełnia Twoich wymagań? Oprócz naszego kompleksowego standardowego portfolio, oferujemy również rozwiązania dostosowane do indywidualnych potrzeb. Skontaktuj się z nami, aby omówić swoje wymagania.
Benjamin Renz, Global Market Segment Manager, Semiconductors & Electronics
Cechy szczególne
- Wysoka odporność chemiczna dzięki np. obudowie z PTFE
- dla kwasów, zasad, wody ultraczystej i szlamu
- Kompensacja piany i narostu dzięki technologii Smart Level
- Precyzyjne i niezawodne wykrywanie
Produkty do monitorowania poziomu cieczy w przemyśle półprzewodnikowym
Pozwól nam wydobyć z Twoich systemów to, co najlepsze
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions