Produkty
- Czujniki i technologia sieciowa dla przemysłu opakowaniowego, spożywczego, napojów, farmaceutycznego i kosmetycznego
- Technologia napędów
- Mobilne maszyny robocze
- Automatyzacja w przemyśle półprzewodników
- Nauka o życiu
- Przemysł stalowy i hutniczy
- Obróbka metali
- Przemysł samochodowy i dostawcy dla przemysłu samochodowego
- Hydraulika siłowa i pneumatyka
- Przemysł tworzyw sztucznych
- Wytwarzanie energii
- Automatyzacja intralogistyki: poprawa wydajności i przepustowości
- Branża AGD
- Przemysł elektroniczny
- Rewolucja w automatyzacji produkcji baterii: zapewnienie maksymalnej wydajności i jakości
- Przemysł oponiarski
- Inżynieria ruchu
Automatyzacja w przemyśle półprzewodników
Precyzja w produkcji półprzewodników, paneli słonecznych i wyświetlaczy
Komunikacja, Internet rzeczy, inteligentna fabryka, inteligentny dom - wszystkie te obszary są napędzane przez postępującą cyfryzację. Sercem wszystkich tych technologii są półprzewodniki, które są głównym i niezbędnym składnikiem mikroprocesorów.Wraz z postępem cyfryzacji rosną również wymagania stawiane półprzewodnikom. Chipy muszą stawać się coraz bardziej wydajne. Jednocześnie bardzo złożony i niezwykle wymagający technologicznie proces musi być ekonomicznie opłacalny.
Balluff oferuje kompetentne wsparcie w zakresie przetwarzania płytek krzemowych w przemyśle chipowym i solarnym, a także w produkcji wyświetlaczy.
Rozwiązania automatyzacji firmy Balluff dla przemysłu półprzewodników
Indywidualne i wysokie wymagania często potrzebują niestandardowych rozwiązań. Nasz asortyment produktów obejmuje zarówno standardowe, jak i niestandardowe rozwiązania z zakresu Customer Design & Engineering (CDE).
Wyjątkowo wysoka dokładność procesu jest gwarantowana dzięki naszym innowacyjnym i precyzyjnym czujnikom optoelektronicznym z technologią MicroSPOT. Głowice czujników oraz zewnętrzny moduł przetwarzający sygnał można łatwo zintegrować z maszynami.
Ponadto specjalne cechy konstrukcyjne niektórych czujników umożliwiają ich stosowanie bezpośrednio w próżni.
W przypadku zastosowań o krytycznym znaczeniu dla przestrzeni, nasze portfolio produktowe zawiera również kompaktowe, wydajne czujniki.
"Branża półprzewodników jest kamieniem węgielnym dzisiejszego świata, napędzającym innowacje w różnych sektorach. Jako Global Market Segment Manager, moim celem jest ciągłe monitorowanie zmian na rynku, zrozumienie unikalnych wymagań w zakresie produkcji półprzewodników, a tym samym zapewnienie, że nasza oferta przyniesie najlepsze wyniki we wszystkich przypadkach zastosowania. Już dziś obsługujemy klientów z segmentu produkcji półprzewodników w różnych obszarach, takich jak przetwarzanie i obsługa płytek oraz nośników".
(Benjamin Renz, Global Market Segment Manager, Semiconductors & Electronics)
Najważniejsze aplikacje w branży półprzewodników
Dowiedz się więcej o wybranych aplikacjach, które dają wgląd w to, jak konkretne wyzwania w przemyśle półprzewodnikowym są rozwiązywane niezawodnie i precyzyjnie przy użyciu komponentów Balluff.
Dalsze przykłady zastosowań dostosowane do indywidualnego obszaru
Odkryj, w jaki sposób rozwiązania Balluff zapewniają wyjątkową precyzję na każdym krytycznym etapie procesu produkcji półprzewodników.
Obsługa płytek:
Wysoka precyzja nawet pomiędzy etapami procesu
Balluff zapewnia wysoką precyzję obsługi płytek w module EFEM, np. na efektorze końcowym lub wstępnym wyrównaniu Ponieważ tylko przy ekstremalnej dokładności wafle mogą być precyzyjnie pozycjonowane i niezawodnie transportowane do poszczególnych etapów obróbki.
Oferujemy czujniki i rozwiązania produktowe o niewielkich gabarytach, co ułatwia ich integrację z maszyną. W przypadku szczególnie trudnych warunków możemy również dostosować naszą technologię do wymagań klienta.
Bezdotykowe zasady pomiaru pozwalają uniknąć ścierania, dzięki czemu klasa pomieszczeń czystych jest gwarantowana przez cały proces. Skorzystaj z niezawodnego monitorowania obsługi płytek i zabezpiecz swój proces.
Przetwarzanie płytek:
Niezawodna praca w środowisku chemicznym
Aby spełnić specjalne wymagania produkcji półprzewodników, Balluff oferuje optymalne rozwiązania dla procesów w chemii mokrej. Specjalne obudowy PTFE umożliwiają niezawodną kontrolę poziomu - na przykład podczas trawienia, czyszczenia płytek lub powlekania i wywoływania w litografii. Nasze czujniki temperatury zapewniają również prawidłową temperaturę procesu. Czujniki kontaktowe umożliwiają niezawodne monitorowanie temperatury podczas przetwarzania płytek.
Za pomocą naszych czujników można również kontrolować skok zaworu podczas przetwarzania płytek, dzięki czemu można uzyskać jednorodne i idealne warstwy podczas osadzania.
Obsługa nośników:
Precyzyjne pozycjonowanie bez kontaktu
Systemy Balluff wspierają precyzyjną i wydajną obsługę nośników- niezależnie od tego, czy nośnikiem jest FOUP czy SMIF. Dzięki naszym systemom możesz monitorować ruchy AMHS podczas w pełni automatycznego transportu nośników, zarówno na krótkich dystansach z pojazdami RGV, jak i na długich dystansach z pojazdami OHV.
Jednocześnie bezdotykowe systemy zapewniają precyzyjne pozycjonowanie. Oznacza to, że płytki mogą być bezpiecznie podawane do każdego etapu produkcji. Tarcie i rozszczepienie nie stanowią problemu.
Systemy Balluff gwarantują również kompleksową identyfikację. Zapewniają one, że pozycja nośnika jest dokumentowana w czasie rzeczywistym.
Aplikacje próżniowe:
Wspieranie niezawodności procesu
W przemyśle półprzewodników płytki są często przetwarzane w środowiskach próżniowych, aby zapewnić czyste i wolne od zanieczyszczeń środowisko.
Czujniki Balluff charakteryzują się wyjątkowymi właściwościami i cechami konstrukcyjnymi, które umożliwiają ich stosowanie bezpośrednio w próżni. Na przykład do wyrównywania w locie w śluzie próżniowej lub do sprawdzania obecności płytek. Oferujemy wersje wkręcane z funkcją uszczelniania, a także czujniki do montażu bezpośrednio w wysokiej próżni. Używamy materiałów zoptymalizowanych pod kątem odgazowywania, aby zapewnić niezawodność procesu. Na życzenie klienta możemy również wyprodukować czujniki z określonych przez niego materiałów.Sygnały z czujników są bezpiecznie wyprowadzane przewodami elektrycznymi za pomocą przepustów kablowych.
Najważniejsze produkty dla przemysłu półprzewodnikowego
Odkryj specjalistyczne produkty, które zostały opracowane w celu spełnienia wymagań przemysłu półprzewodnikowego. Niezależnie od tego, czy chodzi o precyzję mapowania płytek, czy o szczególnie wysoką wytrzymałość do monitorowania zaworów ALD - nasze produkty pomagają zwiększyć dostępność maszyn i zapewnić jakość produktu.
Pozwól nam wydobyć to, co najlepsze z Twoich systemów
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions
-
Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
-
Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
-
BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
-
Micromote – high optical performance in the smallest space
