Produtos
- Sensores e tecnologia de rede excepcionais para as indústrias de embalagens, alimentos, bebidas, farmacêutica e cosmética
- Tecnologia de Acionamento Elétrico
- Tecnologia para Equipamentos Hidráulicos
- Automação na indústria de semicondutores
- Indústria automotiva e fornecedores
- Indústria de ferro e aço
- Siderurgia e Metalurgia
- Equipamento Móvel
- Produção de Energia
- Automação intralogística: melhorando a eficiência e o rendimento
- Indústria Plástica
- Life Science
- Linha branca
- Indústria eletrônica
- Revolução na automatização da produção de baterias: garantir a máxima eficiência e qualidade
- Indústria de Pneus
- Engenharia de tráfego
Automação na indústria de semicondutores
Precisão para a produção de semicondutores, energia solar e ecrãs
Comunicação móvel, Internet das Coisas, Fábrica Inteligente, Casa Inteligente - todos esses desenvolvimentos estão sendo impulsionados pelo avanço da digitalização. No centro de todas essas tecnologias estão osos semicondutores, que se tornaram indispensáveis no setor como o principal componente dos microchips.Os semicondutores se tornaram indispensáveis no setor. Com o avanço da digitalização, as demandas impostas aos semicondutores também estão aumentando. Por exemplo, os chips precisam se tornar cada vez mais potentes. Ao mesmo tempo, um processo altamente complexo e tecnologicamente extremamente exigente deve ser dominado economicamente na produção de semicondutores.
A Balluff lhe oferece suporte competente para o processamento de wafers na indústria de chips e solar, bem como para a produção de displays.
Soluções de automação da Balluff para a indústria de semicondutores
Requisitos individuais e exigentes geralmente demandam soluções personalizadas. Nossa linha de produtos oferece soluções padrão e soluções personalizadas do Customer Design & Engineering (CDE).
Uma precisão de processo excepcionalmente alta é garantida com nossos sensores optoeletrônicos inovadores e de alta precisão com tecnologia MicroSPOT. Os cabeçotes dos sensores e a unidade de avaliação externa podem ser facilmente integrados às suas máquinas.
Além disso, os recursos especiais de design de determinados sensores permitem que eles sejam usados diretamente no vácuo.
Para aplicações de automação com espaço crítico, nosso portfólio também inclui sensores particularmente compactos, porém potentes.
"O setor de semicondutores é uma pedra fundamental no mundo de hoje, impulsionando a inovação em vários setores. Como Gerente de Segmento de Mercado Global, minha meta é monitorar constantemente os desenvolvimentos no mercado, entender seus requisitos exclusivos na fabricação de semicondutores e, assim, garantir que nossas ofertas tragam os melhores resultados em todos os nossos casos de uso nesse setor. Hoje, já atendemos clientes do segmento de fabricação de semicondutores em várias áreas, como manuseio de wafer, processamento de wafer ou manuseio de transportadores."
(Benjamin Renz, gerente do segmento de mercado global, semicondutores e eletrônicos)
Aplicações em destaque no setor de semicondutores
Saiba mais sobre aplicações selecionadas que lhe dão uma visão de como desafios específicos na indústria de semicondutores são resolvidos de forma confiável e com precisão usando componentes da Balluff.
Outros exemplos de aplicação para se adequar à sua área de aplicação individual
Descubra como as soluções da Balluff garantem de forma confiável a extrema precisão em cada etapa crítica do processo de fabricação de semicondutores.
Manuseio de wafer:
Alta precisão mesmo entre as etapas do processo
Para o manuseio de wafer no módulo EFEM, como no efetor final ou no pré-alinhador, a Balluff lhe oferece alta precisão. Porque somente com extrema precisão os wafers podem serOs wafers podem ser posicionados com precisão e transportados de forma confiávele alimentá-los em cada etapa individual de processamento.
Nossos sensores e sistemas estão disponíveis em designs pequenos para facilitar a integração na máquina. Para condições particularmente difíceis, também podemos personalizar nossa tecnologiapersonalizada de acordo com suas necessidades.
Os princípios de medição sem contato evitam a abrasão, de modo que a classe de sala limpa é garantida durante todo o processo. Use o monitoramento confiável do manuseio de wafer e proteja seu processo.
Processamento de wafer:
Opere de forma confiável em um ambiente químico
Para atender aos requisitos especiais da produção de semicondutores, a Balluff oferece soluções ideais para processos em química úmida. As carcaças especiais de PTFE permitem um controle de nível confiável - como durante a gravação, limpeza de wafer ou revestimento e revelação em litografia. Nossos sensores de temperatura garantem que a temperatura do processo também esteja correta. Os sensores de contato permitem monitorar de forma confiável as temperaturas durante o processamento do wafer.
Com os nossos sensores, você também pode controlar o curso da válvula durante o processamento do wafer para que possa produzir camadas homogêneas e ideais durante a deposição.
Manuseio de portadores:
Posicionamento preciso sem contato
Os sistemas da Balluff suportam o manuseio preciso e eficiente do transportador- independentemente de o transportador ser um pod FOUP ou SMIF. Com nossos sistemas, você pode monitorar os movimentos do AMHS durante o transporte totalmente automático dos transportadores. E eles fazem isso de forma extremamente confiável, tanto em distâncias curtas com RGVs quanto em distâncias longas com OHVs.
Ao mesmo tempo, os sistemas sem contato garantem um posicionamento preciso. Isso significa que seuswafers podem ser alimentados com segurança para cada etapa de processamento. Atrito e clivagem não são problemas.
Os sistemas da Balluff também garantem a rastreabilidade de ponta a ponta. Eles garantem que a posição doA posição do transportador é documentada em tempo real.é documentada em tempo real.
Aplicações a vácuo:
Para dar suporte à confiabilidade do processo
Na indústria de semicondutores, os wafers são frequentemente processados em ambientes de vácuo para garantir um ambiente limpo e livre de contaminação.ambiente limpo e livre de contaminação.ambiente livre de contaminação.
Os sensores da Balluff são caracterizados por propriedades excepcionais e recursos de design que permitem que eles sejam usados diretamente no vácuo. Por exemplo, para alinhamento em tempo real na trava de vácuo ou para verificar a presença de wafers. Oferecemos versões de rosca com função de vedação, bem como sensores para instalação direta em alto vácuo. Usamos materiais otimizados para desgaseificação para garantir a confiabilidade do processo.A seu pedido, também podemos fabricar os sensores nos materiais que você especificar.Os sinais do sensor são roteados com segurança por meio de cabos elétricos usando buchas de cabos.
Produtos em destaque para o setor de semicondutores
Descubra produtos especializados que foram desenvolvidos para atender aos requisitos do setor de semicondutores. Seja pela precisão no mapeamento de wafer ou pela robustez particularmente alta no monitoramento de válvulas ALD - nossos produtos ajudam a aumentar a disponibilidade da máquina e a garantir a qualidade do produto.
Deixe-nos tirar o melhor proveito de seus sistemas
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Industry brochure semiconductor industry
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Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
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Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
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Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
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BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
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Micromote – high optical performance in the smallest space
