Sicheres Wafer-Mapping
Erkennen Sie die Kanten der wenigen µm-dicken Wafer absolut sicher. Der äußerst kontrollierte und fokussierte Lichtspot unserer Micromote-Sensoren bietet Ihnen dazu eine überragende Präzision. Gleichzeitig gewährleisten unsere Micromote-Sensoren, dass volle Slots, doppelte Wafer oder Wafer in Schieflage jederzeit sicher erkannt werden. Durch flexible Kabel und kleine Bauformen genießen Sie große Konstruktionsfreiheit.
Die Besonderheiten
- überragende Präzision auf engstem Raum – minimaler Öffnungswinkel
- an unterschiedlichste Endeffektoren adaptierbar
- modulares Baukastensystem – perfekt für spezifische mechanische Einbausituationen
Downloads
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Branchenbroschüre Halbleiterindustrie
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Mapping Sensor – präzise auf kleinstem Raum