エンドエフェクタ上のウエハの存在の確認
エンドエフェクタ上にウエハがあるかどうかは、PTFE コーティングを施した Balluff の静電容量センサでもチェックできます。これらのセンサは超薄ウエハを、そのウエハがたわんでいる場合でも極めて確実に検出します。その取付け高さはわずか 2.5 mm であるため、エンドエフェクタにうまく組み込むことができます。外部アンプにより、簡単に遠隔調整することができます。
特長
- 極めてフラット – わずか 2.5 mm
- PTFE ハウジングにより、様々な表面にも適合
- 非常に狭い取付けスペースでの高い精度
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