ウエハの存在の検知
確実なプロセスのために、ガス放出を最適化した Balluff の拡散反射型光電センサでウエハやキャリアの存在をチェックできます。この外部アンプ付きの赤外光センサは、真空での使用に適しています。わずか 1.7 mm で、小さい接触面を持つ超フラットな構造は、真空チャンバ内の限られたスペースに最適です。
特長
- 取付け高さが極めて低く、省スペース
- 死角がない
- ステンレスハウジングにより、非常に堅牢
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