容器壁を通した非接触での充填レベルの検出
Balluff の静電容量センサを使って酸液/アルカリ液/超純水タンクの最適な充填レベルを確保することによって、湿式化学において円滑なプロセスチェーンを実現できます。これらのセンサは、最大 10 mm 厚のガラスまたはプラスチック壁を通して充填レベルを確実に検出します。例えば酸液などの導電性の高い媒体には、Balluff のハイエンド静電容量センサを使用でき、これらはさらに泡や付着物を消失させます。
特長
- 酸液/アルカリ液/超純水/スラリー液用
- バイパスなし
関連トピック
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