製品紹介
フローバルブの確実なチェック
プロセスチャンバへの定期的な媒体の流れがバルブによって制御される場合、そのバルブを信頼できなければなりません。最終的にその流れは、質の高いプロセスの維持に寄与します。そのため、Balluff の誘導型センサを使ってバルブを監視します。これらのセンサは堅牢で、M5 のように非常に小さい構造のものが用意されているため、バルブにうまく組み込むことができます。高い信頼性が得られます。
特長
- 小型なので、うまく組み込むことができる
- 取付け後にセンサ後端の LED で確認可能
- 外部アンプが不要
関連トピック
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