プレアライメントでのウエハの調整
プレアライメントでウエハを正確に位置決めすることで、完璧に調整された状態のウエハをプロセスチャンバに供給できます。光学式プレアライナーのために、Balluff は卓越したソリューションを提供しています。それは、抜群の均一性を持つ高分解能光バンドです。これにより、ウエハを正確にセンタリングするために、ノッチやフラットも検出できます。さらに、Balluff の光バンドはお使いのプレアライナーに最適に組み込むこともできます。
特長
- 極めて正確な赤色光レーザー：高分解能で抜群の均一性
- 様々な光の長さによって個別の要件を解決
- 直観的に操作可能
関連トピック
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry