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엔드 이펙트에서 웨이퍼 존재 확인
탈가스 분석에 최적화된 광확산 센서를 사용하여 엔드 이펙트에 웨이퍼의 존재 여부를 절대적인 신뢰성으로 확인하십시오.그리하면 사고를 두려워할 필요가 더 이상 없습니다.이 설치 높이는 단지 1.7mm이기 때문에 발루프의 광확산 센서는 극도로 얇은 경우에도 앤드 이펙터와 완벽하게 통합할 수 있습니다.
주요 특성
- 완벽한 플랫(Flat) : 앤드 이펙트에 완벽함
- 클린룸용 탈가스 분석에 최적화됨
- 간단한 원격 조정
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