제품
웨이퍼 존재 여부 확인
독립된 전자 장치가 있는 발루프의 포토센서는 소형 광점으로 특수 광학 장치를 사용하여 조리개를 통해 웨이퍼 또는 캐리어의 존재 여부를 감지합니다. 스테인리스 스틸 본체인 진공 호환 가능한 확산 광센서를 공정 챔버에 쉽게 끼웁니다. 그런 다음 이 챔버는 밀봉되어 케이블 피드스루가 필요하지 않습니다.
주요 특성
- 작은 광점의 마이크로 옵틱
- 밀봉 기능이 있는 견고한 스테인리스 스틸 본체
- 최대 1x10-9 mbar의 진공 어플리케이션
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