안정적인 플로우 밸브 모니터
챔버 공정으로 매체의 정기적인 흐름이 밸브에 의해 제어되어 질때, 밸브가 진정으로 안정되어야 합니다. 결국 이 흐름(Flow)은 고품질 공정에 기여합니다. 이것이 근접 센서를 사용하여 밸브를 모니터링해야 하는 이유입니다. 이 센서는 M5와 같은 소형 폼 팩터에서도 견고하게 사용할 수 있기에 높은 안정성으로 밸브와 쉽게 통합됩니다.
주요 특성
- 쉽게 통합할 수 있는 소형 폼 팩터
- 설치 후 센서 뒷면의 LED로 확인 가능
- 외부 증폭기 필요 없음
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