웨이퍼의 사전 정렬

웨이퍼를 프리 얼라이너(Pre-aligner)에 정확히 위치된, 완벽하게 정렬된 챔버 공정으로 가져오십시오.발루프는 뛰어난 균일성을 갖춘 고해상도 라이트 어레이 광학 프리 알라이너에 대한 뛰어난 솔루션을 제안합니다. 추가적으로, 웨이퍼의 정확한 센터링을 위해 노치(notch) 또는 플렛(Flat)을 감지합니다. 발루프의 라이트 어레이는 또한 프리 얼라이너와의 통합에도 이상적입니다.

주요 특성