Centrovanie doštičiek s riešeniami na mieru
Manipulácia s wafermi vo vákuu
Pri výrobe polovodičov je presné a spoľahlivé centrovanie doštičiek kľúčové v každom kroku procesu. Wafery musia byť v procesných komorách umiestnené s mimoriadnou presnosťou a v špecifickej orientácii. Keďže koncové efektory manipulačných robotov v skutočnosti "neuchopia" doštičku, ale ju len zdvihnú, musí sa určiť presná poloha na spracovanie. Je to potrebné na zabezpečenie rovnomerného spracovania doštičky a na zabránenie chybám, ako je nerovnomerné odstránenie alebo deformácia.
Pomocou našich riešení na mieru možno doštičky plátky možno umiestniť presne do určenej polohy. Napríklad zarovnávanie plátkov za chodu možno vykonať mimoriadne spoľahlivo pomocou dvoch fotoelektrických snímačov Micromote. Ich vysoko presné signály umožňujú vypočítať posun k ideálnej línii, ak sa obe svetelné bariéry nespínajú súčasne. Vďaka našej technológii mikrospotov môžete korigovať plátok počas pohybu keďže presne rozpoznáva ostré hrany doštičky.
Aby sa polohovanie rozpoznalo čo najpresnejšie, naše zosilňovače pre optické senzorové hlavy podporujú senzory pri centrovaní doštičiek s mimoriadne vysokou frekvenciou spínania.
Štandard úplne nespĺňa vaše požiadavky? Okrem nášho rozsiahleho štandardného portfólia ponúkame aj riešenia na mieru. Kontaktujte nás a prediskutujte svoje požiadavky.
Benjamin Renz, manažér globálneho trhového segmentu, polovodiče a elektronika
Špeciálne funkcie
- Extrémne zaostrený bod LED s vynikajúcou homogenitou
- Najmenšie, priestorovo úsporné konštrukcie
- Riešenia na mieru
Výrobky na centrovanie doštičiek
Nechajte nás vyťažiť z vašich systémov to najlepšie
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions