Kontrola prítomnosti waferov v koncovom efektore

Či sa wafer nachádza v koncovom efektore, môžete alternatívne kontrolovať pomocou našich kapacitných snímačov s náterom PTFE. Tieto zaznamenávajú ultratenké wafery vyslovene spoľahlivo, aj keď sa prenášajú. Ich montážna výška je len 2,5 mm, vďaka čomu je ich integrácia do koncových efektorov bezproblémová. Vďaka externému zosilňovaču je možné ich jednoduché presné nastavenie.

Špeciálne vlastnosti