Kontrola prítomnosti waferov v koncovom efektore
Či sa wafer nachádza v koncovom efektore, môžete alternatívne kontrolovať pomocou našich kapacitných snímačov s náterom PTFE. Tieto zaznamenávajú ultratenké wafery vyslovene spoľahlivo, aj keď sa prenášajú. Ich montážna výška je len 2,5 mm, vďaka čomu je ich integrácia do koncových efektorov bezproblémová. Vďaka externému zosilňovaču je možné ich jednoduché presné nastavenie.
Špeciálne vlastnosti
- extrémne ploché – len 2,5 mm
- vďaka aktívnemu krytu z PTFE vhodné aj pre rôzne povrchy
- vysoká presnosť v najmenších inštalačných priestoroch
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry