Produkty
Spoľahlivé monitorovanie rotácie robota
Na absolútne presné polohovanie koncového efektora robota sú ideálne naše magneticky kódované systémy na meranie uhlov. Tieto kontrolujú rotačné pohyby robotických kĺbov, ktoré prepravujú koncový efektor, ten privádzajú do jeho koncovej polohy a následne odkladajú wafer.
Špeciálne vlastnosti
- jednoducho integrovateľné, malá snímacia hlavica
- vďaka nízkej hmotnosti dokonalé pre robotiku
- veľká vzdialenosť medzi snímačom a krúžkom: jednoduchá montáž – vysoká prevádzková bezpečnosť
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
