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Cartografía fiable de obleas
Manipulación de obleas: detección fiable de errores de carga en la FOUP
En la producción de semiconductores, el transporte entre las distintas fases de procesamiento se realiza en casetes especiales o FOUPS (Front Opening Unified Pods). El riesgo de rotura debe reducirse al mínimo. El mapeo de obleas es crucial en este caso para reconocer posibles errores de carga y evitar el riesgo de rotura.
Para el mapeo de obleas, se integra un sensor óptico en el efector final, que se encuentra en el extremo del brazo del robot y suele ser un tipo de pinza en forma de horquilla. Durante el mapeo de obleas, el efector final sobresale lo suficiente en la FOUP para que las obleas individuales interrumpan el haz de luz del sensor.
A medida que el efector final se desplaza por la FOUP de arriba abajo, el sistema de control puede contar cuántas obleas hay y si se han insertado correctamente. Dado que el espacio entre las obleas apiladas en el FOUP es de sólo unos milímetros de grosor, todo el efector final debe ser igual de fino. Esto a su vez requiere que el sensor para el mapeo de obleas en el extremo del efector final sea lo más fino y ligero posible.
Especialmente para esta aplicación hemos desarrollado un sensor de mapeo de obleas perfectamente adaptado: los cabezales sensores ópticos BOH00EZ con un grosor de sólo 1,5 mm y una distancia de conmutación fiable de hasta 800 mm. El punto de luz extremadamente controlado y focalizado de nuestros cabezales sensores ópticos con tecnología MicroSPOT le ofrece una precisión extraordinaria. Garantizan que ranuras llenas, obleas dobles u obleas torcidas se detectan de forma fiable en todo momento en todo momento. Gracias a los cables flexibles y a los diseños muy pequeños, disfrutará de la máxima libertad de diseño.
"¿La norma no se ajusta a sus necesidades? Además de nuestra amplia gama de productos estándar, también ofrecemos soluciones personalizadas. Póngase en contacto con nosotros para hablar de sus requisitos".
(Benjamin Renz, Director del segmento de mercado global de semiconductores y electrónica)
Características especiales
- Precisión excepcional en los espacios más reducidos - Ángulo de apertura mínimo
- Adaptable a una amplia gama de efectores finales
- Sistema modular - perfecto para situaciones específicas de instalación mecánica
Productos para un mapeado fiable de obleas
Permítanos sacar el máximo partido a sus sistemas
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Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space