Lapkajelenlét ellenőrzése
Az integrált elektronikával rendelkező optoelektronikai érzékelőink a kis fénypontos speciális optikák révén egy csatornán keresztül érzékelik a lapka vagy a hordozó jelenlétét. A vákuumhoz tervezett, rozsdamentes acél házban elhelyezett tárgyreflexiós érzékelőket csavarja be egyszerűen a folyamatkamrába. Ezzel leszigeteli a kamrát, így nincs többé szükség kábelátvezetőre.
Jellemzők
- kis fényponttal rendelkező mikrooptika
- robusztus nemesacél ház, tömítő funkcióval
- max. 1 × 10–9 mbar vákuumos alkalmazásokhoz
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry