Félvezető szelet (wafer) központosítás személyre szabott megoldásokkal
Precíz szeletkezelés vákuumban
A félvezetőgyártás során a waferek pontos és megbízható központosítása minden egyes folyamatlépésben kulcsfontosságú. A szeleteket rendkívül pontosan és meghatározott tájolásban kell elhelyezni a technológiai kamrákban. Mivel a kezelőrobotok végeffektorai valójában nem "megfogják" a wafert, hanem csak felemelik, a feldolgozáshoz pontosan meg kell határozni a pozíciót. Erre a félvezető szelet egységes feldolgozásának biztosítása és az olyan hibák elkerülése érdekében van szükség, mint az egyenetlen eltávolítás vagy deformáció.
Testreszabott megoldásaink segítségével aszeletek pontosan a kívánt pozícióba helyezhetők.. Az wafer menet közbeni beállítása például rendkívül megbízhatóan elvégezhető két Micromote fotoelektromos érzékelővel. Nagy pontosságú jeleik lehetővé teszik az ideális vonalig történő eltolás kiszámítását, ha a két fénysorompót nem kapcsolják egyszerre. Microspot technológiánknak köszönhetően mozgás közben korrigálhatja a szeletet,mivel az érzékelők pontosan érzékelik a wafer éles széleit.
A pozicionálás lehető legpontosabb észlelése érdekében optikai érzékelőfejekhez készült erősítőink különösen magas kapcsolási frekvenciával működnek.
Személyre szabott megoldásokat kínálunk, amelyek megfelelnek az Ön egyedi követelményeinek. Vegye fel velünk a kapcsolatot, hogy megbeszélhessük az Ön igényeit. Szakértőink örömmel várják üzenetét!
Benjamin Renz, globális piaci szegmensmenedzser, félvezetők és elektronika
Különleges jellemzők
- Rendkívül fókuszált LED-spot, kiemelkedő homogenitással
- Kisebb, helytakarékos kialakítás
- Testreszabott megoldások
Termékek a központosító félvezető szeletekhez
Segítünk abban, hogy a legjobbat hozza ki rendszereiből
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions